高效過濾器作為末端是各級(jí)過濾器中關(guān)鍵的一級(jí)，對(duì)于10000級(jí)和100000級(jí)潔凈廠房。預(yù)過濾可選用F8過濾器，對(duì)于芯片廠100級(jí)，10級(jí)或更高級(jí)別的潔凈廠房，預(yù)過濾器的常見效率級(jí)別為H10，許多新項(xiàng)目索性選用HEPA。

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